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注意!羅茨泵在真空工藝應(yīng)用中常發(fā)故障解析

 發(fā)表時間:2023-02-28

       許多真空工藝裝置中,在前級的基礎(chǔ)上都配備羅茨泵(圖1),一是可以提高抽速,二是改善真空。然而,羅茨泵在運行過程中經(jīng)常遇到下列問題:

注意!羅茨泵在真空工藝應(yīng)用中常發(fā)故障解析

       羅茨泵在啟動時由于電機(jī)過載而跳閘 

  國內(nèi)羅茨泵的最大允許壓差一般都規(guī)定在5000Pa,其電機(jī)容量亦是根據(jù)最大允許壓差來設(shè)定。

  例如:羅茨泵與前級泵抽速之比為8:1,如果羅茨泵在2000Pa下啟動,羅茨泵壓差為8×2000Pa-2000Pa=14000Pa>5000Pa。

  于是就超過它的最大允許壓差,所以要根據(jù)羅茨泵與前級泵的配比來確定羅茨泵的最大啟動壓力。

注意!羅茨泵在真空工藝應(yīng)用中常發(fā)故障解析

       在運行過程中過熱,甚至轉(zhuǎn)子被卡死 

  造成羅茨泵過熱有兩個原因:

  一是入口氣體溫度過高,因為被抽氣體通過羅茨泵后,溫度會進(jìn)一步升高,如果泵體長時間在超過80℃下運行,會產(chǎn)生一系列故障,甚至造成轉(zhuǎn)子因熱膨脹而卡死,建議當(dāng)入口氣體溫度超過50℃時,在羅茨泵上游增設(shè)熱交換器。

  二是羅茨泵排氣側(cè)的壓力過高,特別是當(dāng)前級泵為液環(huán)泵時,如果液環(huán)泵的密封液被工藝氣體污染,產(chǎn)生高的蒸汽壓,則羅茨泵長時間在高壓差運行,就會導(dǎo)致過熱。

    前級泵的液體倒流到羅茨泵的泵腔內(nèi) 

  這種現(xiàn)象在羅茨水環(huán)機(jī)組中常有發(fā)生。因為在停水環(huán)泵時,雖然羅茨泵己經(jīng)停止運轉(zhuǎn),但羅茨泵仍處于真空狀態(tài),水環(huán)泵的水就會返流到羅茨泵的泵腔內(nèi),甚至通過迷宮密封進(jìn)入油箱,使油乳化,軸承損壞。

  因此,在停水環(huán)泵前,必須從水環(huán)泵的入口充入大氣,而且充氣時間必須在水環(huán)泵停止運轉(zhuǎn)以后繼續(xù)維持30秒。