了解真空泄漏中的實(shí)漏、虛漏、外漏、內(nèi)漏

 發(fā)表時(shí)間：2022-12-30

       大部分真空系統(tǒng)的表現(xiàn)會(huì)隨時(shí)間的推移而變化，特別是用于生產(chǎn)的真空設(shè)備，幾乎不可避免地會(huì)發(fā)生真空度下降等問(wèn)題，造成這些問(wèn)題的一個(gè)很常見(jiàn)的原因就是泄漏。

        定期的泄漏檢測(cè)很重要

       大的泄漏通常會(huì)非常明顯：真空腔體壓力未按正常速度下降，或者極限壓力明顯高于正常值。然而，有些時(shí)候，由于真空泵可以輕松處理泄漏氣體造成的氣載，小的泄漏很難被發(fā)現(xiàn)，這時(shí)，即使真空計(jì)的讀數(shù)仍然在正常的水平，泄漏的出現(xiàn)仍有可能為真空腔體帶來(lái)期望之外的氣體（如氧氣），這些氣體有時(shí)候會(huì)對(duì)工藝過(guò)程（比如某些鍍膜工藝）帶來(lái)非常嚴(yán)重的影響。所以，無(wú)論真空系統(tǒng)的壓力是否有明顯下降，都應(yīng)該定期進(jìn)行泄漏檢測(cè)。

        實(shí)漏和虛漏

       并非所有的抽氣時(shí)間延長(zhǎng)、極限壓力下降都是因?yàn)樾孤?，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設(shè)備是否真的發(fā)生了泄漏。

       真空腔室的內(nèi)壁或腔室內(nèi)壁附著的污染物，在真空下持續(xù)的釋放出氣體，這種現(xiàn)象被稱為放氣。當(dāng)真空腔室內(nèi)部存在死空間，并且該死空間通過(guò)一個(gè)狹長(zhǎng)的通道與腔室內(nèi)部連通時(shí)，死空間內(nèi)的氣體在真空下也會(huì)緩慢的釋放出來(lái)，形成類似于放氣或泄漏的現(xiàn)象，通常把這種現(xiàn)象叫做虛漏。

        真實(shí)的泄漏可以通過(guò)檢漏找到，放氣也可以通過(guò)清洗真空腔體內(nèi)表面而解決，而虛漏一旦產(chǎn)生，很難被發(fā)現(xiàn)，需要在設(shè)計(jì)和制造時(shí)盡量避免容易產(chǎn)生虛漏的結(jié)構(gòu)或工藝。

       外漏和內(nèi)漏

       我們平時(shí)所講的泄漏一般是指外漏，即從真空腔體或管道的外部向內(nèi)部泄漏；而內(nèi)漏是指兩個(gè)本應(yīng)隔離的真空腔室之間，通過(guò)閥門(mén)隔離的兩段真空管道之間，或真空腔室與管道之間，發(fā)生了泄漏。

 下圖是一個(gè)典型的擴(kuò)散泵抽氣機(jī)組，羅茨泵上方的閥門(mén)在高真空時(shí)應(yīng)該是關(guān)閉的，如果該閥門(mén)關(guān)閉不嚴(yán)，高真空時(shí)氣體就會(huì)從閥門(mén)的下面向右側(cè)泄漏，這種泄漏就是內(nèi)漏。和外漏類似，內(nèi)漏也會(huì)造成高真空抽氣時(shí)間延長(zhǎng)、極限真空變差等問(wèn)題。