氦質(zhì)譜檢漏儀的原理以及幾種檢漏方法

 發(fā)表時(shí)間：2022-12-21

        氨質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。

       氦質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來(lái)回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入人體磁場(chǎng)，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí)，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收槽到達(dá)接收極而被探測(cè)到。

      氦質(zhì)譜檢漏儀原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。       

        氦質(zhì)譜檢漏儀有以下幾種檢漏方法，每種方法都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不同的應(yīng)用場(chǎng)景。       

        噴槍檢漏法和吸槍檢漏法是最常用的氦譜檢漏儀檢漏方法。

        1.噴槍的真空檢漏法

        1)可以定位漏點(diǎn)。

        2)高精度。

        3)消耗較少的氦氣。

         精密儀器、壓力容器等廣泛采用真空檢漏法。

         典型應(yīng)用：熱管檢漏氦質(zhì)譜儀。

         2.吸槍法

        1)可以定位漏點(diǎn)。

        2)無(wú)需抽真空。

        采用吸槍法進(jìn)行電廠檢漏和航天火箭氣控系統(tǒng)檢漏。

        典型的應(yīng)用：換熱器檢漏。

        3.累積真空測(cè)漏

       1)高精度。

       2)整體泄漏量的測(cè)量。

       3)在線檢測(cè)方便。

       4)高重復(fù)。

       典型應(yīng)用：消防器材鋼瓶氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏。

      4.背壓法

      1)對(duì)密封裝置進(jìn)行指定檢測(cè)。

      2)高重復(fù)性。

      典型應(yīng)用：電子元件的氦質(zhì)譜檢漏儀。

        5.真空累積法

        1)自動(dòng)檢測(cè)容易。

        2)極高的精度。

        3)高重復(fù)性。

        典型應(yīng)用：H質(zhì)譜檢漏儀用于鋰電池檢漏系統(tǒng)。

        6.槍的常壓吸積法

        1)在線檢測(cè)方便。

        2)無(wú)需抽真空。

        氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理。當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時(shí)，氦和其他元件的泄漏氣體會(huì)從泄漏孔中泄漏出來(lái)。當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。