渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)分析

 發(fā)表時(shí)間：2022-12-19

       渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)

       1、優(yōu)點(diǎn)

       由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴(kuò)散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點(diǎn)有:

       (1)清潔，無(wú)油蒸汽返流

       渦輪分子泵清理能超強(qiáng)是大眾對(duì)渦輪分子泵的基本了解，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔铩?/span>

        (2)使用方便

        在許多應(yīng)用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥，只是簡(jiǎn)單地一按電鈕，泵便能開(kāi)始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過(guò)渦輪分子泵進(jìn)行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時(shí)也消除了這些元件所帶來(lái)的故障。因此渦輪分子泵系統(tǒng)所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝(用油潤(rùn)滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內(nèi)工作)。這個(gè)特點(diǎn)，可用于安裝位置受限制的地方。

       (3)氣體輸送能力強(qiáng)

       大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氨)的能力很強(qiáng)，因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過(guò)程，氨質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。

       有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過(guò)程中，抽除的氣體會(huì)對(duì)低溫泵、離子泵、擴(kuò)散泵油等有腐蝕作用。甚至也會(huì)破壞標(biāo)準(zhǔn)的未加保護(hù)的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過(guò)，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負(fù)荷高的工藝過(guò)程。如濺射、刻蝕等

       (4)適于超高真空應(yīng)用

       一臺(tái)密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級(jí)旋片泵(或同樣性能的千式前級(jí)泵),其極限真空度一般可達(dá)到10- 9~10- 10Torr(即 133.3~13.33 nPa)之間。若一臺(tái)渦輪分子泵再串一臺(tái)渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在110-10~110-11 Torr (即13.33~1.333 nPa)之間，而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運(yùn)轉(zhuǎn)。這些性能再加上它有良好的清潔性(測(cè)不到碳?xì)浠衔?顯然用戶會(huì)選擇渦輪分子泵用于高分辨率質(zhì)譜儀，分子束外延設(shè)備及超高真空分析儀器等設(shè)備上。

        (5)高壓力下性能良好

       有些渦輪分子泵的入口壓力可在 10-1~10-3 Torr (即 13.33Pa~133.3 mPa)之間運(yùn)行。在這個(gè)壓力范圍內(nèi)，離子泵不能應(yīng)用，對(duì)于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生，對(duì)擴(kuò)散泵的工作也會(huì)變得不穩(wěn)定。

        (6)循環(huán)的時(shí)間短

       多數(shù)渦輪分子泵，尤其小一些的，要達(dá)到正常的運(yùn)行速度的時(shí)間，一般需要 1~3 min。對(duì)于不同品種和型號(hào)的泵有所不同，并且能立即關(guān)閉，并可暴露大氣。這種快速循環(huán)特性在樣品輸入系統(tǒng)中很有用，尤其對(duì)手提式氨檢漏儀有用。

       (7)正常使用時(shí)間長(zhǎng)

        在某些應(yīng)用中，渦輪分子泵的正常使用時(shí)間要比其它泵優(yōu)越。因?yàn)樵谥貧怏w負(fù)荷和閥門漏氣的情況下，會(huì)引起低溫泵經(jīng)常不定時(shí)的再生或離子泵經(jīng)常修復(fù)，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對(duì)真空室的污染。