為什么分子泵需要前級(jí)泵

 發(fā)表時(shí)間：2022-12-19

        為什么分子泵需要配置前級(jí)泵, 而不是直接在大氣壓下工作。

        我們都知道渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài) ( 氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài) ) 下工作才能顯示出它的優(yōu)越性，可很少有人知道為什么需要在分子流狀態(tài)。

       其實(shí), 包括轉(zhuǎn)子和定子葉片排列的泵送作用是基于將脈沖從快速旋轉(zhuǎn)的葉片傳輸給被泵送的氣體分子。與葉片碰撞的分子被吸附在葉片上，然后在一段時(shí)間后再次離開葉片。在該過(guò)程中, 葉片速度被加到熱分子速度上，為確保由葉片傳輸?shù)乃俣瘸煞植灰蚺c其他分子碰撞而損失，分子流必須在泵中占主導(dǎo)地位， 即平均自由程必須大于葉片間距。

       在純粹渦輪分子泵的情況下, 由于其分子流需要的前級(jí)真空壓力大約為10-2 mbar, 所以需要工作壓力為 1～10-2 mbar的前級(jí)泵，而前級(jí)泵抽氣速率或者真空度滿足不了使用要求, 所以需要分子泵。而且不預(yù)抽的話, 直接啟動(dòng)分子泵, 由于形成的壓力太高容易把分子泵葉片損壞，這就是為什么分子泵需要前級(jí)泵的主要原因。