分子泵日常維護(hù)與維修

 發(fā)表時(shí)間：2022-12-15

分子泵日常維護(hù)與維修

      1更換潤(rùn)滑油

      2.渦輪分子泵

      新泵初次運(yùn)行1000小時(shí)后，即應(yīng)更換潤(rùn)滑油；

      通常，經(jīng)過(guò)初次換油后，正常運(yùn)行的泵一年換油一次；

      ◆更換潤(rùn)滑油方法:

       泵體上下軸承處，各有一個(gè)注油孔和個(gè)出油孔，將兩個(gè)注油孔(位置偏上)和兩個(gè)出油孔(位置偏下)螺打卸下，水平擱置泵，使注油孔朝上,用注射器將大約2x6m1的油分別主入兩個(gè)油孔內(nèi)，從另一側(cè)流出的油不得再用，將4個(gè)M5油孔專用螺釘擰好，甩吸油紙吸凈泵殼上殘余的油，即完成潤(rùn)滑油更換。

       注意：安裝油孔爆釘時(shí)，螺釘上的黑色O形密封圈應(yīng)擰緊、壓實(shí)、避免漏氣。

       ◆口徑大于等于160的泵

        新泵初次運(yùn)行1000小時(shí)后，即應(yīng)更換潤(rùn)滑油；

        常規(guī)運(yùn)行中，分子泵一年內(nèi)運(yùn)行時(shí)間少于4000小時(shí)的，一年更換一次；

        一年內(nèi)運(yùn)行時(shí)間多于 4000小時(shí)的，每運(yùn)行 4000小時(shí)必須換油一次。

        注意：如果泵經(jīng)常負(fù)載太大，觀察潤(rùn)滑油漫濁或明顯變色，則需立即更換潤(rùn)滑油。

       ◆更換潤(rùn)滑油的方法:

       1）松開泵底部緊固由池的固定螺釘，取下油池, 倒出油池內(nèi)的廢油；

       2）使用中性洗滌劑刷洗油池，注意要將雜質(zhì)和污物清理干凈，然后擦干(充分晾干，不能留有水珠) ;

       3）重新注油方法與新泵注油方法相同。

       注意：更換下來(lái)廢棄的潤(rùn)滑油按當(dāng)?shù)胤煞ㄒ?guī)處理。

       脂潤(rùn)滑型分子泵終生不需要更換潤(rùn)滑脂，如果抽承出現(xiàn)問(wèn)題只能返廠維修。

        3、清洗泵

        如果排除真空系統(tǒng)漏氣或真空控體虧染嚴(yán)重等原因，在對(duì)泵長(zhǎng)時(shí)間烘烤后仍不能恢復(fù)其真空性能，則斷定泵已被污染，必須對(duì)泵進(jìn)行清洗。

        4、軸承更換

       合格的分子泵出廠前都經(jīng)過(guò)專門儀器的整機(jī)動(dòng)平衡校驗(yàn)，更換軸承后需要重新校動(dòng)平衡，

       注意：更換下來(lái)的報(bào)廢器件以及廢棄清洗液按當(dāng)?shù)胤煞ㄒ?guī)處理。

        5、從真空系統(tǒng)上拆泵

       當(dāng)泵出現(xiàn)故障而必須從系統(tǒng)上將泵拆下來(lái)時(shí)，應(yīng)確定泵處在停機(jī)狀態(tài)，內(nèi)外氣壓平衡，如果真抽除的是腐蝕性氣體，確認(rèn)真空腔，泵體內(nèi)、前級(jí)管道內(nèi)屬性氣體已被充分沖洗干凈，泵內(nèi)沉積物同樣對(duì)人體有害，必要時(shí)，拆卸人員應(yīng)戴防毒面具、戴手套。

       泵卸下后，應(yīng)盡快除去沉積物，以防上沉起物與潮濕空氣反應(yīng)生成揮發(fā)物或?qū)Ρ糜懈g的酸、堿等。泵卸下后，應(yīng)立即用封閉的塑料袋包裝起來(lái)。